氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

参数

最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s漏率显示范围：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s启动时间：≤5min响应时间：<2S检漏口压力：300Pa极限真空：5×10-4Pa外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG

特点

1、采用便携式设计2、设备外型美观小巧3、采用液晶触摸屏设计4、有通讯接口5、可以方便地将检漏数据输出

使用环境

环境温度：5～35℃相对湿度：<80%供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A

技术指标

1、最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s2、漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s3、启动时间：≤5min4、响应时间：≤1s5、检漏口的压力：1500Pa6、电源要求：220v，50Hz，单相，10A7、工作环境：5-35℃8、相对湿度：≤80%9、外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）10、重量：64kg

主要配置

1、检漏仪专用分子泵2、机械泵或者干泵3、定制检漏仪专用电磁阀4、内置标准漏口5、放大器6、采用质谱专用模块