场发射扫描电子显微镜(FESEM)是电子显微镜的一种。

该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。该仪器利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得忠实原貌的立体感极强的样品表面超微形貌结构信息。具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

基本介绍

场发射扫描电子显微镜（FESEM）具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

技术参数

1、分辨率

2、放大倍数

3、加速电压

4、低压范围

5、探针电流

6、样品室

7、样品台

8、倾斜角

主要用途

适用于对金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子、复合材料和纳米级一维、二维和三维材料的表面形貌进行观察（二次电子像、背散射电子像）；可进行微区的点、线、面成分分析；指定元素在形貌上成象；晶体材料的晶体取向及微区取向分析、结构分析、正反极图、欧拉空间分析等；图象定量分析。

仪器类别

0304070201/仪器仪表/光学仪器/电子光学及离子光学仪器/扫描式电子显微镜

指标信息

二次电子图像（SEI）分辨率1.5nm

背散射电子图像（BEI)分辨率3.0nm

X射线能谱仪（EDS）分辨率128ev分析范围B5～U92

电子背散射衍射（EBSP）空间分辨率0.5μm采集时间20ms～2s/每菊池图

数字图像采集系统分辨率512×384pixe11024×768