激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值,当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。
产品特点
--调阻精度高l先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束l四线制高速测量系统,测量时间仅为25usl拥有软件预调误差补偿功能--调阻速度快l先进的激光器拥有极高的重复频率,在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度l德国进口扫描振镜,扫描速度极快l高精度分步重复机构,空气轴承,移动速度及加速度快--可靠性高l整机配置核心器件均采用原装进口配置l采用花岗岩台座,稳定可靠--功能强大l拥有温度实时补偿功能l同时具有激光划片和打标功能--运行及维护成本低廉l采用半导体端面泵浦或光纤激光器l使用寿命长,性能稳定l电光转换效率高,节约用电成本l采用风冷系统,无须外置冷却设备l操作简单,无须高额培训成本
技术参数
--激光器系统l激光类型:半导体端面泵浦激光器/光纤激光器l激光波长:1064/532/355nml激光平均功率:10W/20W/7W(UV355)l激光频率:200Hz-50KHzl典型光斑尺寸:30µm实际切口取决于材料、光学器件和波长;可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µml泵浦源使用寿命:20,000—100,000小时l冷却方式:风冷l对焦方式:计算机程序控制--激光束定位系统l激光束运动范围:75mmX75mm(可选配其他规格)l点到点运动时间:5ms(典型)l速度:7000mm/sl重复定位精度:2.5µml激光束最小步进:0.76µm--图像监视系统l监视方式:激光同轴监视l放大倍数:>100倍l图像监视显示屏:19寸液晶--测量系统l激励方式:电流/电压激励l恒流源:0.01µA~100mA计算机程控选择l恒压源:0~20V计算机程控选择(可选其它电压范围)l电阻测量方式:四线制加电流测电压l直流电压测量:10mV~10V(满程电压)l调节对象发热控制:程序可设定l电阻测量精度:低阻:<0.05%+1%/R(R<100Ω)中阻:<0.05%高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)l电阻测量范围:0.01Ω-500MΩl电阻测量速度:25µsl直流电压分辨率:0.16µV(在10mV满量程条件下)l探针板:44针11组四线制(可选其它规格)l探针板运动:计算机程序控制--计算机及软件系统l工业控制计算机(双核),17寸液晶l操作系统:WindowsXPlVB平台开发的可视化应用软件,界面友好,功能强大--分步重复运动系统l运动XY范围:290x260mml运动分辨率:1µml定位精度:小于6µm(带误差补偿)l重复定位精度:小于3µml运动速度:900mm/sl具有温度补偿等功能--非接触温度测量l温度测量精度:0.2℃l调阻温度修正:计算机程序控制--其它技术指标l供电电压:220VACl整机功耗:小于1000W
应用和市场
主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于l厚膜混合集成电路l电子元器件l汽车电器l传感器l军工科研l片式电阻等行业