去离子水（deionized water），除去盐类并部分除去硅酸和二氧化碳等的纯水。又称深度脱盐水。其中剩余的含盐量约为1毫克／升。将天然水或一次蒸馏水用离子交换法提纯，即可得到去离子水。使用氢型强酸性阳离子交换树脂(R—SO₃H，R为母体)，其中的H+与Ca²⁺、Mg²⁺等金属离子发生交换反应，而将钙、镁离子除去：

2R—2SO₃H＋Ca²⁺(R—SO₃)₂Ca＋2H⁺使用氢氧型强碱性阴离子交换树脂(R′—NOH，R′为母体)，其中的OH-与水中的硅酸根、碳酸根等阴离子发生交换反应，而将它们除去：

2R′—2NOH＋CO₃^2-(R′—N)₂CO₃＋2OH^-长期使用而失效的阴、阳离子交换树脂可用氢氧化钠和盐酸再生后，重复使用。