白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG全球指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。

产品特点

1、非接触式测量：避免物件受损。

2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。

3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。

5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。

6、扫描仪：采用闭环控制系统。

7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

8、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

技术参数

应用领域

1、TFT产业

2、半导体

3、MEMS

4、高校科研

5、精密加工