整个系统由电容测量、差分放大、相位检测、信号处理、伺服控制、电机驱动等子系统组成。由于在激光切割过程中，会产生大量的等离子体，引入严重的干扰信号，因此在现代的随动系统中，锁相放大技术和小波变换等信号处理技术被广泛采用，提高了随动系统的可靠性。
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