肖特基势垒二极管

肖特基势垒二极管利用金属-半导体（M-S）接触特性制成，由于金属-半导体接触的电流运输主要是依靠多数载流子（电子），其电子迁移率高，且M-S结可以在亚微米尺度上精确制造加工，使得肖特基势垒二极管能运用到亚毫米波、太赫兹波频段。肖特基势垒二极管有两种管芯结构：点接触型和面结合型。点接触型管芯用一根金属丝压接在N型半导体外延层表面上形成金半接触。面结合型管芯先要在N型半导体外延层表面上生成二氧化硅保护层，再用光刻的办法腐蚀出一个小孔，暴露出N型半导体外延层表面，淀积一层金属膜（一般采用金属泪或钛，称为势垒金属）形成金半接触，再蒸馏或电镀一层金属（金、银等）构成电极。