为满足电磁型平面微电机对定子绕组线圈的高深宽比及厚度要求，提出一种利用AZ4903光刻胶制作电磁平面微电机定子绕组的方法。
通过反复摸索，得到了该光刻胶的较理想_的转速一胶膜厚度、前烘时间一温度的关系曲线及合适的曝光、显影时间。制作出了厚度为40m、陡直度良好的定子绕组线圈。把利用该工艺制作的定子绕组和转子装配后形成了微电机，通过对该电机转速和输出力矩的测试结果表明，电机运转平稳、力矩波动小。
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