非晶硅太阳电池是指通过光电效应或者光化学效应把光能转化成电能的装置。基本组成成分是非晶硅化合物。非晶硅太阳电池的工作原理是基于半导体的光伏效应。非晶硅太阳电池的方法有很多种，包括等离子增强型化学气相沉积，反应溅射法、辉光放电法、电子束蒸发法和热分解硅烷法等。
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