【反应溅射解释】:暂无。
1) 现在反应溅射法已被广泛应用于切削刀具、成型工具、注射模具和诸如冲头和冲模之类的通用器具,以增强其耐磨性和使用寿命。
2) 研究了用铟锡合金靶直流磁控反应溅射制备ITO透明号电膜。
3) 三极反应溅射具有设备简单,工艺简便,镀层致密等特点。
4) 用射频反应溅射法制备出BCN薄膜。
5) 脉冲溅射是一种新型的、用于消除直流反应溅射中异常放电的技术。
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