【射频溅射解释】：暂无。
1 为改善射频溅射法制备的防水透湿涂层的外观和拒水性，对涤纶织物基底上的溅射氟碳高分子膜的泛黄问题进行了研究。
2 在不同条件下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。
3 射频溅射沉积的薄膜均匀性和致密性要优于直流溅射沉积的薄膜。
4 采用磁控射频溅射法制备光波导用玻璃薄膜。
5 在不同的衬底温度下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。
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